construção de meia célula de ânodo si. método experimental. amostras de pastilha si com camada superficial de siox nativa foram usadas neste estudo. todos os eletrodos de silício (1 cm× quadrados de 1 cm) foram limpos com um protocolo de limpeza em várias etapas estabelecido para remover a contaminação da superfície.33 wafers de silício (processo czochralski, dopado com boro a 0.001− 0.005Ω cm, (100) orientação, 700μ m de espessura, adquiridos da Addison Engineering) foram usados como ânodos. eles foram cortados a laser em uma área de 1× 1cm2 e, em seguida, recebeu uma limpeza de RCA.33 a limpeza de RCA foi concluída sem etapas de ataque ácido HF para preservar o filme siox nativo original.

após a limpeza, os eletrodos foram secos em estufa a vácuo a 100° C antes da fabricação da célula. os eletrólitos selecionados para esta pesquisa são 1.2 mol/l lipf6 dissolvido em uma solução de carbonato de etileno (ec):etilmetilcarbonato (EMC) com proporção de 3:7 em peso, respectivamente. todos os eletrodos de si foram usados como eletrodos de trabalho nas células tipo moeda, onde o lítio

metal foi usado como um contra-eletrodo.em cada célula, 4.3μ L do eletrólito foi usado; filtros de microfibra de vidro (whatman, GE Healthcare Life Sciences) com espessura de 260μ m com separadores celgard 2325 foram usados na montagem das células. as células de moeda contendo os componentes mencionados foram montadas em uma caixa de luvas cheia de ar. para manter as células a uma pressão interna constante, 0.5 mm de espessura de aço inoxidável- espaçadores de aço e molas de aço inoxidável de 0.3 mm de espessura foram usados . e crimpador de células de moedas (xiamen tmaxcn inc.) foi utilizado para completar a montagem com 4 s de pressão aplicada.